원본 링크결함 분류 · 근본 원인 추적
WM-811K 웨이퍼 맵
WM-811K Wafer Map Dataset
실제 팹에서 나온 웨이퍼 맵 81만 장. 불량 패턴 9종이 라벨링돼 있어 결함 분류의 표준 벤치마크.
- 과제
- 이미지 다중 분류 (9개 패턴) · 극단적 클래스 불균형
- 규모
- 81만 장 (라벨 17만 장) · 9개 패턴
- 라이선스
- CC0 (퍼블릭 도메인) ↗
이 데이터는
EDS 검사에서 나온 불량 좌표를 이미지로 만든 웨이퍼 맵 모음입니다. 811,457장 중 172,950장에 9가지 패턴(Center, Donut, Edge-Loc, Edge-Ring, Loc, Random, Scratch, Near-full, none)이 라벨로 붙어 있습니다.